| 초순수 대용량 카트리지필터 국산화 |
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학술지명 대한환경공학회
저자 권병수,김용범
발표일 2019-06-28
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반도체, 제약, 발전 등 고부가가치 제품을 창출하는 산업에서 초순수산업은 제품품질에 중요한 역할을 한다. 산업의 고도화에 따라 초순수공정에 사용하는 카트리지 필터의 요구수준(저용출 및 파티클의 크기 축소)도 높아지고 있다. 또한, 공정고도화에 따른 Absolute급 카트리지 필터 제조 국산기술 확보와 투자비용 절감, 공정축소의 시스템 개선을 위해 대용량 카트리지 필터 제조 국산기술 확보할 필요가 있다. 초순수공정에 적용되고 있는 카트리지 필터는 소모성 기자재로 수익성 있는 제품이다. 초순수공정의 설계를 외국기업에서 주도함에 따라 초기 진입된 Pall, Entegris 등 외국산 제품에 의존하고 있는 실정이다. 카트리지필터는 외산제품의 점유율이 높으며, 이를 대체할 수 있는 국산기술의 제품이 필요하다. 외산제품을 대체할 수 있는 국산제품을 개발하여 국산제품의 소비를 촉진시키며, 내수경제를 활성화에 기여할 필요가 있다. 초순수용 대용량 카트리지 필터(Nominal급) 개발하기위해 초순수공정에 적용이 가능한 대용량 카트리지 필터 여재 조건 도출(용출성 검토)하고, 파티클을 Nominal급으로 제거할 수 있는 절곡 조건 최적화하고, 제조조건에 확보에 따른 대용량 카트리지필터와 하우징 시작품 제작 및 평가예정이다. 대용량 카트리지 필터&하우징 성능 검증을 위해 트리지 필터 성능 검증을 위한 초순수 Pilot Plant에 평가를 위해 배관(CPVC)을 구성하고, 대용량 카트리지 필터평가를 위한 필터 전/후단 입자(0.2㎛) 제거율을 통한 성능검증하고, 단기검증(1~2개월)을 통한 개선점 도출, 장기 검증(5~6개월)을 통한 성능 검증예정이다. |
