| 초순수 분석기술의 필요성 및 기술개발 현황 |
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학술지명 대한환경공학회
저자 이종찬
발표일 2023-11-02
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초순수는 반도체 등 첨단 제조공정에서 원자재로 널리 사용되며 제품 수율과 품질에 큰 영향을 미친다. 초순수 수질은 다양한 계측기로 관리되고 있으나, 수질 이슈, 불량 원인 파악 등을 위해 초순수 분석이 요구되고 있다. 특히, 외국기업이 독점하는 초순수기술의 자립을 위해서는 초순수 단위공정의 평가와 검증이 필수적이며 이를 위해 신뢰성있는 초순수 분석이 필요하다. |
