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초순수 분석기술의 필요성 및 기술개발 현황
학술지명 대한환경공학회 저자 이종찬
발표일 2023-11-02

 초순수는 반도체 등 첨단 제조공정에서 원자재로 널리 사용되며 제품 수율과 품질에 큰 영향을 미친다. 초순수 수질은 다양한 계측기로 관리되고 있으나, 수질 이슈, 불량 원인 파악 등을 위해 초순수 분석이 요구되고 있다. 특히, 외국기업이 독점하는 초순수기술의 자립을 위해서는 초순수 단위공정의 평가와 검증이 필수적이며 이를 위해 신뢰성있는 초순수 분석이 필요하다.
 ASTM에 제시된 반도체용 초순수 수질은 금속류 1ng/L, 이온류 50ng/L 수준을 요구하고 있으며, 실제 최신 반도체 제조공정에서는 이보다 더 낮은 수질 기준을 요구하고 있다. 분석기기의 발전에도 불구하고 ng/L 수준의 분석을 재현성 있게 수행하기 위해서는 분석환경, 분석자의 숙련도, 적절한 분석법과 실험도구가 모두 갖춰져야 수행될 수 있다. 이러한 이유로 국내 초순수 분석은 극히 제한적으로 이뤄지고 있으며, 국내에는 ng/L 이하 수준의 분석을 위한 표준절차 및 데이터 검증을 위한 기초자료도 마련되어 있지 못한 실정이다.
 신뢰성있는 데이터를 기반으로 국가 첨단산업의 경쟁력을 키우기 위해 검증된 초순수 분석기술이 필요하며 중장기적으로 초순수 전항목 분석기술이 확보되어 초순수 기술의 자립과 기술선도가 필요하다. 
 K-water에서는 금속류를 시작으로 초순수 전항목 분석기술을 개발중이며 현재, 초순수 농축없이 1~3ng/L 수준의 금속류 분석기술을 확보하였고 중장기적으로 1pg/L 수준의 분석을 달성하고자 한다.

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