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초순수 분석을 위한 극미량 농도 시료 분석기술 개발
학술지명 한국환경분석화학 저자 이연미,이은정,이종찬,한창희,소웅
발표일 2023-11-03

초순수는 반도체 제조공정에서 각 단위공정의 세정액으로 이용되며 제품 수율에 지대한 영향을 미친다. 지난 일본의 반도체 전략물자 수출 금지 조치로 인해 국가 주요 산업의 물자 및 기술의 국산화 필요성이 대두되었다. 외국기업이 독점하고 있는 초순수 기술의 자립을 위해서는 초순수 단위공정의 평가와 검증이 필수적이고, 이를 위해 신뢰성 있는 초순수 분석이 필요하다. ASTM International (American Society for Testing and Materials)의 가이드에 따르면 초순수 분석은 기존의 ppb~ppt (10억분의 1 ~ 1조분의 1) 수준의 미량분석을 뛰어넘는 ppt~ppq (1조분의 1 ~ 1000조분의 1) 수준의 극미량 분석 능력이 필요하므로 엄격한 청정실험 분석환경과 정교한 분석방법 및 장비가 필요하다. 그러나 국내에서는 분석환경, 분석자의 숙련도, 적절한 분석법과 실험도구의 부재 등의 이유로 반도체 대기업 중심으로 초순수 분석이 극히 제한적으로 이루어지고 있으며, ng/L 이하 수준의 분석을 위한 기초자료도 마련되어 있지 않다. 이를 극복하기위해 K-water에서는 금속류와 이온류 분석을 위한 Class-10의 클린룸(첫시작실험실)을 설치하여 극미량 분석기술을 개발중이며, 초순수 농축없이 1~3 ng/L 수준의 금속류 분석기술을 확보하였고, 이후 1 pg/L 수준의 분석기술을 달성하고자 한다.

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