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초순수 플랜트의 공정 및 설비별 에너지 소모량 현황 분석
학술지명 대한환경공학회 전문가세션 저자 이경혁,임승지
발표일 2024-06-27

초순수 공정에서 사용되는 에너지는 타 수처리 기술에 비해서 많은 에너지가 사용된다. 기존에는 반도체 용수 생산의 중요성으로 인해서 에너지에 대한 고려가 진행되지 않았지만, 환경적인 중요성 등으로 인해서 에너지 저감 기술에 대한 요구가 증가하고 있다. 이에 따라서 초순수 공정, 설비 별로 소모되는 에너지 소모량 분석을 통해서 플랜트에서 소모되는 에너지 현황을 분석하고 에너지 저감 기술에 대한 연구를 수행한다.

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