초순수는 첨단산업의 필수재로 반도체 제조공정 등 다양한 산업에서 사용되고 있다. 첨단산업 기술발전에 따라 초순수 요구 수질 및 관리 수질은 지속적으로 높아지고 있으며 이에 따라 초순수의 수질을 검증하고 관리하기 위한 분석기술도 중요해지고 있다. 신뢰성 있는 초순수 분석은 제품의 품질을 검증하고, 안정적인 초순수 수질을 유지하기 위해 필수적인 선제조건이지만 기술적인 어려움으로 인해 초순수 분석은 국내에서 제한적으로 수행되고 있다. 
최신 반도체 공정에서 요구되는 초순수 수질은 금속 원소의 경우 ng L-1 ~ pg L-1 수준에 이른다. 이는 환경 중에서 흔하게 검출되는 농도보다 수십만배 이상 낮은 농도이기 때문에 일반적인 실험실 환경에서는 분석과정에서 유발되는 바탕오염으로 인해 신뢰성 있는 결과를 얻기가 거의 불가능하다. 이로 인해 계측기 측정항목을 제외한 대부분의 초순수 분석은 클린룸 안에서 이루어지며, 분석에 사용되는 시약과 도구들도 시료 오염을 최소화하기 위해 특별하게 제조 및 관리되어야만 한다. 초순수 분석결과에 영향을 미치는 요인은 클린룸의 청정도(오염 여부), 시약의 순도, 분석용 초순수의 수질, 용기 및 기구의 오염상태 등이 있다. 각각의 요인이 분석결과에 미치는 영향은 그 크기와 경향이 상이하지만 다양한 접근을 통해 오차의 원인을 찾고 철저한 관리로 계통오차를 줄일 수 있으며 이를 통해 신뢰성 있는 초순수 분석을 수행할 수 있게 된다.