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HOMER&D성과논문실적
논문실적
| 초순수 플랜트 에너지 사용 현황 분석 및 절감 사례 |
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학술지명 2024 한국유체기계학회 하계학술대회
저자 탁세완,이경혁,권병수
발표일 2024-07-04
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초순수 플랜트의 운영비(인건비 제외)는 총 52.6억원, 원수비(40.7%), 소모품비(25.7%), 전력비(17.7%), 약품비(10.2%) 순서로 사용된다. 반도체 제조용 초순수 안정성을 고려하여 가능한 범위에서 운영 최적화를 통한 공업용수, 전력비, 약품비, 질소 등을 절감하기 위한 노력이 필요하다. 본 연구에서는 에너지 사용 현황 분석 및 트러블 슈팅을 통한 절감 사례를 소개한다. |
