목적: 본 연구에서는 초순수 플랜트에서 발생할 수 있는 회수계통 압력제어밸브 및 계측기 이상 발생을 가상센서를 이용해서 빠르고 정확하게 진단하는 기술을 제안하고자 한다.
방법: 초순수 공정의 회수계통에 있는 3개 설비(압력 조절 밸브, 압력계, 유량계)로부터 수집되는 운영 데이터를 활용하여 실험식을 도출하고 예측범위를 산정한 후 이를 이용한 가상센서를 구축한다.
결과 및 토의: 초순수 플랜트의 운영을 통해서 수집된 24시간 데이터를 활용할 경우 월간 데이터를 추정하는데에도 높은 정확도를 보이는 것을 확인할 수 있었다. Phase 1의 경우에서 Phase 2에 비해서 이상진단 기술이 더 정확하게 값을 예측하며 유의미한 오차범위를 가지는 것을 확인할 수 있었다.
결론: 실험식으로 도출된 가상센서를 활용해서도 공정의 이상진단 기술의 개발이 가능하였다. 유량계와 압력조절밸브 개도율에 대한 이상을 감지하기에는 높은 성능을 보였지만, 일정하게 유지되는 압력 값 자체 추정하기에는 한계를 보였으며, 압력에 대한 예측을 위한 개선이 필요하다고 판단된다. 또한, 하루의 데이터를 이용해서 월간 데이터 전체를 추정하는데 이상이 없었다는 점을 감안하며, 운전조건에 변화가 생길 경우 하루의 데이터를 수집해서 실험식을 보정할 경우 이상진단 알고리즘으로 계속 사용할 수 있을 것으로 생각된다.
주제어: 초순수 공정, 이상진단, 유량계, 압력 조절 밸브, 압력계