초순수 플랜트는 전통적인 수처리(정수처리, 하수처리) 등의 플랜트와 달리 매분 일정하게 처리하고 공급하는 운전이 요구된다. 그렇기 때문에 플랜트 설비들의 자산관리, 운영 가능성과 신뢰성을 평가할 필요가 있으며, 이를 정량화하여 안정적인 무중단 생산과 공급을 할 수 있는 기술이 요구된다. 본 연구에서는 신뢰성, 가용도, 안정성 분석의 개념을 초순수 플랜트에 적용하여 가용도 분석을 진행한다. 이를 위해서 먼저 초순수 플랜트에 존재하는 설비들의 자산관리 레벨을 정하고, 분류한다. 설비들의 가용도를 결정하기 위해서는 가동 시작 후 고장까지의 시간(Mean Time To Failure, MTTF)와 수리시간(Mean Time To Repair), 고장확률 등을 고려하여 가용도 확률을 계산한다. 설비 별 가용도를 활용하여 전체 플랜트의 가용도를 계산한다. 또한 각각의 설비에 대한 고장 민감도와 중요도 분석을 통해 유지관리와 운영방안에 대한 방법론을 모색한다. 이를 통해서 1년 중 가동 중지가 필요한 시간을 계산하고 설비들의 가용도를 높일 방법을 제안한다. 본 연구에서는 경제성에 대한 분석을 진행하지 않으며, standby 설비들의 사용이 어느 정도의 가용도를 높이는지에 대한 분석을 진행한다. 추후 진행될 후속 연구에서는 경제성 분석을 진행하여 최적의 공정 설계 및 운영 방안을 도출한다.