초순수 플랜트에서 소모되는 에너지는 가동되는 다양한 공정에 의해 영향을 받는다. 본 연구에서는 초순수 공정에서 소모되는 에너지량을 계산하고 에너지 소모량 저감 방법을 연구한다. 이를 위해 초순수 실증플랜트에서의 공정 및 설비를 대상으로 에너지 소모량 계산하고 필요한 데이터는 전력사용량과 POU(Point of Use) 사용량으로 하루 단위로 누적되는 데이터를 활용한다. 먼저 전력사용량을 POU사용량으로 나누어 초순수 에너지 소모량을 계산한다. 이후 초순수 설비별과 공정별, 공정의 펌프별, 수처리 설비별로 에너지 사용량을 비교한다. 전처리 공정의 경우 역삼투 공정으로 인해 펌프에서 사용하는 에너지가 다른 공정에 비하여 압도적으로 많은 에너지를 차지하였다. 순수처리와 초순수 처리 공정은 UV공정과 CEDI(Continuous Electrodeionization)공정에서 많은 에너지를 사용한다는 것을 분석되었다. 이는 초순수 플랜트에서 소모되는 에너지 중 절반 이상이 펌프의 가동을 위해 사용된다는 것을 알 수 있다. 수처리 공정 중 초순수 공정에서 가장 많은 에너지가 소모되며, 이 중 초순수 플랜트를 24시간 가동하기 위해 동작하는 펌프가 가장 많은 에너지를 소모된다. 또한, 초순수를 일정한 온도로 유지하기 위해서는 열교환기 사용이 필수적이며, 폐열의 사용여부에 따라서 변하는 총괄 에너지 소모량을 비교 분석한다. 이러한 연구결과는 초순수 플랜트의 에너지 소모에서 가장 높은 비율을 차지하는 설비, 공정을 분석하고 이를 통해서 초순수 플랜트의 에너지 소모량을 줄이기 위한 연구에 활용될 수 있다.