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초순수 실증플랜트 운영기술 보고서
학술지명 - 저자 탁세완,김광렬,이재범,윤수범,권병수,박준기,조현웅,안태성,김지혜,정경수,윤지원,김관석,오희진,이현우,정경석,안선아
발표일 2025-12-19

반도체급 초순수 생산 주요공정 및 설계-운영 100% 국산화, 소·부·장 70% 국산화를 위한 연구를 통해 운영된 초순수 실증플랜트의 트러블슈팅 현황을 공정 및 분야별로 분석하고 그 피해규모 및 소요기간 등의 내용을 도서로 제작하였다.

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