RESEARCH PERFORMANCE
반도체급 초순수 생산 주요공정 및 설계-운영 100% 국산화, 소·부·장 70% 국산화를 위한 연구를 통해 운영된 초순수 실증플랜트의 트러블슈팅 현황을 공정 및 분야별로 분석하고 그 피해규모 및 소요기간 등의 내용을 도서로 제작하였다.